利用扫描电镜背散射电子成像进行超微结构大视野观察及辅助定位

谢礼; 郑希; 于梦洁; 王伟兰; 郭建胜; 张仲凯; 洪健; 《电子显微学报 》 2020 北大核心 CSCD

摘要：用扫描电镜的背散射电子成像,可以得到样品表面薄层区域的电子密度信息。本研究利用扫描电镜背散射电子成像模式进行超薄切片的超微结构大视野观察、辅助原子力显微镜探针精细定位以及超薄切片辅助修块定位。在超微结构观察中,消除了载网网格对切片的遮挡,实现了电镜载网超薄切片的扫描电镜大视野成像,细胞结构分辨率接近于透射电镜。在原子力显微技术中,通过不同放大倍数下对应扫描电镜背散射电子像与原子力显微镜光学辅助图中样品特征的方法,辅助原子力显微镜进行精细探针定位。在超薄切片修块中,可以用扫描电镜背散射电子像观察树脂包埋块的切面来检验修块结果,提高修块精度和效率。

关键词： 扫描电子显微镜 背散射电子成像 超微结构 原子力显微镜 修块